技術職員 大西 広 Onishi Ko 北キャンパス・情報基盤系技術部門電子科学研究所 / 技術専門職員 技術連携統括本部 電子・工作・観測系グループ技術連携統括本部 情報系グループ 関連ページ マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM) キーワード 真空装置オープンファシリティ共用機器微細加工(ナノ微細加工、ナノ計測、分析解析、観察評価) 関連技術分類 ナノ・微細加工技術クリーンルーム管理運用